位移传感器精度等级对照表：四个指标怎么对上现场 – 易测电气

结论先说：位移传感器没有「一级二级」这种官方精度等级，找国家标准也找不到这张表。行业里说的是四个指标的组合——线性度、重复性、分辨率、温漂。四个数凑在一起才叫精度，只看一个必然买错。

很多人拿着「精度等级对照表」去找，想找一张能横着比品牌的表。这张表不存在，原因在后面几段。能做的是把四项指标拆开，各自找到可比的写法。

为什么查不到一张官方的「精度等级表」

位移传感器不是标准化量具。量具（卡尺、千分尺）有精度等级，因为它们测的是同一个物理量、结构统一、可以按统一方法校准。位移传感器测的行程从 4mm 到 6000mm，原理有电位计、LVDT、磁致伸缩、电容，输出有模拟量也有总线，把它塞进一个等级体系里没有意义。

厂家能给的只有这么几种数：非线性度、重复精度、分辨率、温度系数。四个数各管一件事，缺一个就没法比。报价单上只写「精度 0.05%」的，通常指的是非线性度，其余三项要单独问。

线性度：百分比和最小微米值必须一起看

线性度说的是实测曲线偏离理想直线的程度，单位用满量程的百分比（%FS）。这里有个陷阱：小量程的百分比很唬人，套上微米值才知道真相。

站内的写法值得对照。17 系列：非线性度优于满量程的 ±0.05%，后面还跟着「最小 ±80μm」。这两个条件是一起的，意思是百分比与固定值的较大者。量程 2000mm 时，0.05% 是 1mm，比 80μm 大得多，按 1mm 算；量程 100mm 时，0.05% 只有 50μm，比 80μm 小，按 80μm 算。

少了后半句，小量程的报价会看着特别漂亮。EEH 与 19 系列 H 型标的都是 ±0.05%FS（最小 ±80μm），而 19 系列按订货编号可到 ±0.01%，17EX 标 ±0.01%FS，13T 则按行程分档：500mm 以内 ±0.10mm，1000mm ±0.24mm，1750mm ±0.42mm。

重复性：同一个位置读数不一样，问题多半在这

重复性说的是活塞回到同一个位置、读数能不能回到同一个数。它跟线性度是两件事：线性度差，读数一直偏同一个方向；重复性差，读数在同一个位置来回跳。

现场抱怨「停在同一位置，表上数字每次差一点」的，绝大多数是重复性问题，而不是线性度。磁致伸缩这一类标得很狠：17 系列、EEH 都是重复精度优于满量程的 ±0.002%（最小 ±2.5μm），19 系列按编号可到 ±0.001%，17EX 标 ±0.001%。换算下来，2 米量程的重复性是 40μm 量级。

重复性受三样影响：磁环与测杆的间隙是否稳定、安装刚性够不够、电子仓的供电是否干净。第三项最常被忽略。供电纹波大，读数就在最后一位上抖，看着像传感器不行，其实是电源在拖。

分辨率：SSI 位长与 μm 档位怎么对

分辨率是一个数字里能分出的最小台阶。它跟精度不是一回事：分辨率 1μm 的传感器，精度也可能是 80μm，台阶细不代表台阶准。

数字输出的分辨率是可选档位。19 系列 H 型 SSI 输出，数据长度 8~32 位，分辨率可选 1、2、5、10、20、50、100μm。挑档位要按控制精度来，不要一味挑最小：行程 2000mm 用 1μm 档，二进制位数会很宽，PLC 侧换算和抗扰都要跟着上；反过来，行程 300mm 的非接触测量，选 100μm 就把细节丢掉了。

模拟量输出没有「位」的概念，分辨率取决于后端 A/D。ET8-R 采集器是 16 位 A/D，测量精度 ±0.1%FS，这是整机指标，跟传感器本身的 0.002% 重复性不是一个量级，别拿采集器的数去评传感器。

温漂：0.007%FS/℃ 与 15ppm/℃ 是一回事

温度系数说的是温度每变化 1℃，读数漂多少。两种写法常在同一份样本里混着出现，换算一下才对得上：0.007%FS/℃ 等于 70ppm/℃（1% = 10000ppm）。17 系列标的是前者，EEH 标的是后者（<15ppm/℃）。

换算到现场：车间温度从早上 15℃ 升到下午 35℃，变化 20℃。按 0.007%FS/℃ 算，2000mm 量程漂 20×0.007%×2000 = 2.8mm。这个量级对位置控制是要命的。按 15ppm/℃ 算，2000mm 漂 20×15×10⁻⁶×2000 = 0.6mm。同样是「温漂很小」，差出四倍。

抑制温漂有两条路：选温度系数小的型号，或者让传感器工作在温度稳定的区段。靠近液压站、加热器、烘道的位置，先核环境温度再谈精度，这一步省不掉。

四档精度落到工况上

现场验精度的三步

出厂指标是纸上的，装到设备上还得自己验一遍。三步能定性：

• 第一步，找一个可复现的机械基准。用磁性表座加百分表压在基准面上，或者用块规垫出固定高度。基准每次停的位置都不一样，后面两步都白做。
• 第二步，在同一位置推十个来回，记录读数极差。这是重复性，也是现场最该关心的一项。
• 第三步，分五点走全行程，记录每点读数与基准值的差，画出偏差曲线。曲线是单向偏，调标定；曲线是来回分叉，查安装间隙与磁环。

只在中间一段试，是验精度时最常见的坏习惯。量程和标定填错的时候，中段看着完全正常，推到两头才出问题，而现场往往试完中段就走了。

标称 0.05% 到现场变成 0.3mm，差在哪

算一下就知道不奇怪。0.05%FS 在 600mm 量程上是 0.3mm。很多项目按「0.05%」记在心里，默认是个很小的数，装上去发现差了小半毫米，就怀疑买到假货。

百分比的绝对值随量程放大，这是定义决定的。要小绝对误差，就得往 ±0.01%FS 这一档走，或者把量程选得贴合实际行程——量程选大一倍，同样的百分比，绝对误差也大一倍。选型时把「我允许多少毫米的误差」写在纸上，再倒推百分比，比对着样本比参数靠谱。

常见问题

问：位移传感器精度等级对照表里，0.05% 和 0.01% 差多少？
答：差五倍的百分比误差。1000mm 量程上，0.05% 是 0.5mm，0.01% 是 0.1mm。量程越小，两者的绝对差越小，小量程还要看有没有「最小 ±80μm」这类下限。

问：分辨率 1μm 是不是就比 10μm 的准？
答：不是。分辨率是台阶细不细，精度是台阶准不准。1μm 分辨率的传感器配 80μm 的线性度，读数细但整体偏。

问：为什么同一只传感器，夏天和冬天的读数不一样？
答：温漂。按 0.007%FS/℃ 算，2000mm 量程在 20℃ 温差下会漂 2.8mm。先核环境温度，再考虑换温度系数更小的型号。

问：重复性和线性度，现场先查哪个？
答：先查重复性。同一位置推十个来回看极差，这一步最快，也最能区分「传感器问题」和「安装问题」。

问：模拟量输出能看出分辨率吗？
答：看不出，得看后端 A/D。ET8-R 这类采集器是 16 位 A/D、精度 ±0.1%FS，整机指标会把传感器的细分辨率盖住。